Аннотация
Исследованы структурными и оптическими методами поверхность и приповерхностный слой пластин X-среза ниобата лития конгруэнтного состава производства ОАО “Фомос-Материалс”. Показано, что поверхность исследуемых пластин имеет высокое оптическое качество, сравнимое с иностранными аналогами. Показано наличие дефектного приповерхностного слоя глубиной до 20 мкм, насыщенного кислородом с соответствующей нехваткой атомов ниобия. На основе исследованного кристалла сформированы оптические волноводы методом протонного обмена. Оптические характеристики полученных волноводов сопоставимы с результатами для кристаллов ниобата лития производства Crystal Technology, однако требуется корректировка процессов протонного обмена и отжига. Комплексный анализ исследуемых образцов производства ОАО “Фомос-Материалс” показал возможность их применения для изготовления элементов интегрально-оптических схем для различных целей приборостроения.
Полный текст публикации находится здесь!
© 2020 г. Сосунов А.В.*1, Пономарев Р.С.1, Мушинский С.С.1, Волынцев А.Б.1, Мололкин А.А.2, Малежак В.3
1 Пермский государственный национальный исследовательский университет, Пермь, Россия