Аннотация
Развитие современной акустоэлектроники связано с поиском новых перспективных пьезоэлектрических кристаллов, которые обладают хорошими термическими свойствами и имеют высокие значения пьезоэлектрических констант. В последнее десятилетие активно ведется поиск новых пьезоэлектрических материалов из группы лантангаллиевого силикта (лангасита). Кристаллы этой группы обладают точечной группой симметрии 32, как и кристалл пьезокварца SiO2, и хорошей термостабильностью. Значения коэффициентов электромеханической связи кристаллов этой группы уступают кристаллам LiNbO3, но превышают соответствующие значения для кристаллов кварца в несколько раз. Ранее авторами детально были исследованы акустические свойства кристаллов лангасита La3Ga5SiO14 (ЛГС) и лантангаллиевого танталата (лангатата) La3Ga5,5Ta0,5O14 (ЛГТ), которые сегодня являются базовыми материалами при создании высокотемпературных датчиков на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Следует отметить, что интерес к кристаллам группы ЛГС также связан с отсутствием в этих кристаллах фазовых переходов, вплоть до температуры плавления.
Заключение
Рассмотрены перспективные материалы акустоэлектроники — кристаллы группы ЛГС. Показано, что основным дефектом кристаллической структуры являются полосы роста. Методом рентгеновской топографии продемонстрировано, что полосы роста не влияют на процесс распространения ПАВ. Показано, что кристаллы группы ЛГС являются перспективными материалами для высокотемпературных датчиков на ПАВ и объёмных акустических волнах и могут успешно функционировать при температурах выше 600 °С, практически вплоть до температуры плавления.
Полный текст публикации находится здесь!
© 2012 г. Д. В. Рощупкин, Д. В. Иржак, Е. В. Емелин,
Р. Р. Фахртдинов, О. А. Бузанов*, С. А. Сахаров*
ФГБУН «Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН», *ОАО «ФОМОС Материалс»